专利详情

专利名称	空间移相菲索球面干涉仪
申请号	CN201110363171.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102401630A	公开（授权）日	2012.04.04
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘龙海;方瑞芳;陈贝特;熊超;徐傲;曾爱军;黄惠杰
主分类号	G01B9/023(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/023(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	空间移相菲索球面干涉仪至空间移相菲索球面干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的第二分束器的反射光方向设有第一图像传感器，以方便待测球面的调节，所述的计算机便于图像数据处理，本发明在可以实现对球面被测元件的面形测量。该空间移相菲索球面干涉仪可以获得具有一定移相量的多幅移相干涉图像。该空间移相菲索球面干涉仪采用圆偏振参考光和测量光，减小准直透镜和标准镜的残余双折射的影响。移相光路中不再使用四分之一波片，提高面形的测量精度。