专利详情

专利名称	基于硅微机械技术的N×N光开关
申请号	CN03128991.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1456908	公开（授权）日	2003.11.19
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	吴亚明;屈红昌
主分类号	G02B6/26	IPC主分类号	G02B6/26;G02B6/35;G02B6/28
专利有效期	基于硅微机械技术的N×N光开关至基于硅微机械技术的N×N光开关	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及基于微机械技术的N×N光开关，其特征在于先制作2N个1×N或N×1光开关，然后将1×N或 N×1光开关的输入输出系用全连接熔接。采用压电材料作为驱动方式，包括输入输出光纤阵列、夹持板、聚焦透镜、反射镜和驱动装置的连接方式。所采用的驱动装置，以及驱动装置的制作。其中夹持板采用硅微机械技术制作，反射镜和驱动装置的连接采用键合技术，以及硅微机械技术制作的连接方式。采用上述方法制作光纤阵列板、反射镜阵列，再配以透镜阵列，作为光耦合层、光传输层、光反射驱动层，构成了N×N光开关。可以大大的减小光开关的体积，降低N×N光开关的装配难度，增大光开关的容量，从而易于实现N×N的光交换。