专利详情

专利名称	全自动光学测厚仪及其折射/透射率数据处理方法
申请号	CN201110401682.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102494620A	公开（授权）日	2012.06.13
申请（专利权）人	成都中科唯实仪器有限责任公司	发明（设计）人	许镜明;张鹏;张蜀晓;严家荣;陈启禄;唐成
主分类号	G01B11/06(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/06(2006.01)I
专利有效期	全自动光学测厚仪及其折射/透射率数据处理方法至全自动光学测厚仪及其折射/透射率数据处理方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种全自动光学测厚仪，其结构如下：模拟信号采集装置的信号输出端与模拟信号预处理电路的信号输入端连接，模拟信号预处理电路的信号输出端与A/D转换电路的信号输入端连接，A/D转换电路的信号输出端与中央处理器的折射/透射率数据信号输入端连接，中央处理器的视频信号输出端与显示器的信号输入端连接。本发明还公开了一种全自动光学测厚仪的折射/透射率数据处理方法，包括以下步骤：输入包含一位小数位的折射/透射率数据；中值滤波；提取有效折射/透射率的小数位；小数位处理；判断是否出现极值；显示折射/透射率值、折射/透射率趋势线和极值数量；循环执行。通过本发明测量厚度，测量准确、数据精确，结果稳定、可靠。