振镜式激光直写光刻机
- 申请号：CN201110412777.5
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN102495534A
- 公开(公开)日：2012.06.13
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 振镜式激光直写光刻机 | ||
| 申请号 | CN201110412777.5 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102495534A | 公开（授权）日 | 2012.06.13 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 郝春宁;徐文东;范永涛;刘前 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I |
| 专利有效期 | 振镜式激光直写光刻机 至振镜式激光直写光刻机 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 一种振镜式激光直写光刻机，采用模块化设计，由激光扫描模块、自动聚焦模块、样品台模块、位移台模块、样片监测模块和控制模块组成。本发明采用双振镜激光扫描、大范围二维位移台，可实现高速、大范围、高精度的激光直写光刻，适于快速经济地制作微纳结构。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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05
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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