专利详情

专利名称	一种绕光轴旋转对准误差分析方法
申请号	CN201110383336.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102494631A	公开（授权）日	2012.06.13
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	侯溪;宋伟红;伍凡;吴永前;万勇建
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种绕光轴旋转对准误差分析方法至一种绕光轴旋转对准误差分析方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种绕光轴旋转对准误差分析方法。首先对初始位置处测得的面形数据进行泽尼克条纹多项式拟合，提取旋转对称项的拟合系数；然后将被测光学元件绕光轴旋转一定角度，对测得的面形数据同样进行多项式拟合并提取旋转对称项的系数，然后与旋转前的对应多项式拟合系数做差值运算并与拟合得到的阈值作对比，即可获得绕光轴旋转对准误差信息。如此反复进行多次不同旋转角度位置的对准。本发明提供了一种旋转对准误差分析方法，为绝对检测中旋转对准误差控制提供了一种定量分析方法，对减小旋转对准误差进而提高面形绝对检测精度具有较大的应用价值。