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微电极阵列传感器

  • 申请号:CN201110430312.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN102495121A
  • 公开(公开)日:2012.06.13
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 微电极阵列传感器
申请号 CN201110430312.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102495121A 公开(授权)日 2012.06.13
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 汤戎昱;裴为华;归强;李雷;陈弘达
主分类号 G01N27/403(2006.01)I IPC主分类号 G01N27/403(2006.01)I;G01N27/327(2006.01)I
专利有效期 微电极阵列传感器 至微电极阵列传感器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种微电极阵列传感器,包括:一衬底,该衬底上面的两侧分别有一第一反型区和第二反型区;一源极,制作在第一反型区内,该源极有一引出导线;一输出极,制作在第二反型区内,该输出极有一引出导线;一栅氧层,该栅氧层制作在衬底的表面,并暴露出源极和输出极;多组电极功能区,制作在栅氧层上,源极和输出极之间,该多组电极功能区均有引出导线;一绝缘层,该绝缘层覆盖于栅氧层及多组电极功能区的表面。

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