
微电极阵列传感器
- 申请号:CN201110430312.2
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号:CN102495121A
- 公开(公开)日:2012.06.13
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 微电极阵列传感器 | ||
申请号 | CN201110430312.2 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN102495121A | 公开(授权)日 | 2012.06.13 |
申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 汤戎昱;裴为华;归强;李雷;陈弘达 |
主分类号 | G01N27/403(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/403(2006.01)I;G01N27/327(2006.01)I |
专利有效期 | 微电极阵列传感器 至微电极阵列传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 一种微电极阵列传感器,包括:一衬底,该衬底上面的两侧分别有一第一反型区和第二反型区;一源极,制作在第一反型区内,该源极有一引出导线;一输出极,制作在第二反型区内,该输出极有一引出导线;一栅氧层,该栅氧层制作在衬底的表面,并暴露出源极和输出极;多组电极功能区,制作在栅氧层上,源极和输出极之间,该多组电极功能区均有引出导线;一绝缘层,该绝缘层覆盖于栅氧层及多组电极功能区的表面。 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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