专利详情

专利名称	一种微透镜阵列焦距的测量方法
申请号	CN201110369257.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102494873A	公开（授权）日	2012.06.13
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	朱咸昌;伍凡;曹学东;吴时彬
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种微透镜阵列焦距的测量方法至一种微透镜阵列焦距的测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微透镜阵列焦距的测量方法，该方法结合清晰度函数定焦分析，利用光栅衍射分光的原理测量微透镜阵列焦距，平行入射光经过光栅后，由于高级次衍射光光强较小可忽略，其出射光被分成3束：0级、+1级和-1级，通过测量光栅分光后在微透镜各个子孔径中的0级和±1级的光斑中心距，完成对微透镜阵列焦距的测量。同时，利用该方法一次采集图像可完成对多个子孔径的测量，适合于阵列数较多的微透镜焦距测量。本发明由于光栅分光角度由光栅周期和测量波长确定，相比较传统的转角法测量，该方法无需转台，操作简便易行。