专利详情

专利名称	镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置
申请号	CN201110357756.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102494623A	公开（授权）日	2012.06.13
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	史国华;王志斌;张雨东
主分类号	G01B11/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/14(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I
专利有效期	镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置至镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置，本发明将宽带光源出射的光通过干涉结构产生干涉信号，对干涉信号进行采样、图像重构即可得到镜头中光学表面的二维层析图像，在样品臂中使用细平行光束作为扫描光束，通过移动光纤准直器来改变相干层析成像的起始位置，进而得到镜头中不同深度各个光学表面的特征图像，最后根据光学表面在其特征图像中的位置和成像起始位置的移动距离得到两光学表面中心的距离。本发明具有非接触无损测量、测量精度高、数据处理简单的优点，可灵活应用于光学加工、光学装校及光学检测等领域。