专利详情

专利名称	1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅
申请号	CN201110275141.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102289014A	公开（授权）日	2011.12.21
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	关贺元;晋云霞;刘世杰;汪剑鹏;范正修
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I
专利有效期	1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅至1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种1053纳米波段的金属介质膜偏振分束光栅，特点在于其是在石英基底上依次镀制的银层、高反射膜层和矩形光栅构成，该矩形光栅的周期为680.6纳米，占空比为0.2，光栅刻蚀深度为374～476纳米，银层厚度为100纳米，高反射膜层的中间层为高折射率层，内层外层为低折射率层。本发明反射式金属介质膜偏振分束光栅，具有很高的消光比和衍射效率，较宽的带宽和角宽，可以用于高功率激光系统，起到很好的偏振分光效果。