专利详情

专利名称	基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法
申请号	CN201110202648.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102236268A	公开（授权）日	2011.11.09
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	彭勃;王向朝;杨济硕;闫观勇;徐东波
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法至基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法，本发明的特点在于通过频谱匹配进行空间像定心和波像差求解。本发明方法包括1)使用光刻仿真软件PROLITH计算不同泽尼克像差组合对应的仿真空间像，对每幅空间像进行傅里叶变换；2)对仿真空间像频谱集合进行主成分分析，通过线性回归分析在主成分系数和泽尼克系数之间建立回归矩阵；3)运行光刻机的空间像采集程序，完成实测空间像的采集；4)使用频谱定心方法对实测空间像进行定心，将实测空间像的频谱修正为理想位置空间像对应频谱；5)计算投影物镜波像差。本发明可避免空间像差值带来的误差，简化了测试流程，提高了测试精度。