专利详情

专利名称	多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器
申请号	CN201010157527.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102235969A	公开（授权）日	2011.11.09
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	高超群;景玉鹏
主分类号	G01N21/35(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/35(2006.01)I
专利有效期	多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器至多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器，通过分析待测气体的红外透射谱，确定所测气体的种类和浓度，该传感器由制作在硅衬底上的光源(1)、气室(2)、一维光子晶体滤波阵列(3)、红外光强检测阵列(4)构成，其中，光源(1)发出的红外光进入气室(2)，与待测气体相互作用后，通过一维光子晶体滤波阵列(3)不同的滤波通道出射；各滤波通道出射的光强信号在红外光强检测阵列(4)对应的不同检测单元上分别转化为电信号输出，不同位置的检测单元输出的信号强度体现了待测气体对不同波长的红外光的吸收情况，通过测量待测气体的透射谱，并与预存图谱特征比较，借助化学计量学算法，可判断气体成分并确定其浓度。