专利详情

专利名称	全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪
申请号	CN02112077.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1384331	公开（授权）日	2002.12.11
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王向朝;王学锋;刘英明;钱锋
主分类号	G01B9/02	IPC主分类号	G01B9/02
专利有效期	全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪至全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪,包括波长不相同的带有第一驱动电源和温度控制器的光源, 调整光路准直用的准直光源和使被测物体产生振动的激振光源。光束传送的全光程都是在光纤、合波元件和光纤耦合器中进行。有两个光电转换元件响应波段只是对应光源发射光束的波段,对准直光源和激振光源发射的光束不响应。在第一驱动电源和模数转换器之间连接有控制初始相位的相位控制器。与在先技术相比,本发明具有结构紧凑、体积小、抗干扰能力增强, 消除了由于波长漂移带来的误差的优点,测量精度高。