一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器
- 申请号:CN201110191846.4
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号:CN102376812A
- 公开(公开)日:2012.03.14
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 | ||
申请号 | CN201110191846.4 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN102376812A | 公开(授权)日 | 2012.03.14 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 黄志明;陆金星;黄敬国;周炜;沈学民;魏彦峰;侯云;高艳卿;褚君浩 |
主分类号 | H01L31/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/08(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01Q1/44(2006.01)I |
专利有效期 | 一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 至一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器,具有探测灵敏度高,响应速度快,室温工作,结构紧凑可大规模集成的优点,可以对太赫兹信号进行实时探测成像。该探测器基于窄禁带半导体的热载流子吸收效应,选用适当组成的碲镉汞材料,设计合理可行的天线耦合结构,进行光刻、腐蚀、溅射工艺制作,使用前置放大电路进行信号读出,从而实现对太赫兹信号的探测。本发明器件所用材料制备工艺成熟,可实现线列或阵列探测。 |
交易流程
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