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一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器

  • 申请号:CN201110191846.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
  • 公开(公开)号:CN102376812A
  • 公开(公开)日:2012.03.14
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器
申请号 CN201110191846.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102376812A 公开(授权)日 2012.03.14
申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 黄志明;陆金星;黄敬国;周炜;沈学民;魏彦峰;侯云;高艳卿;褚君浩
主分类号 H01L31/08(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/08(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01Q1/44(2006.01)I
专利有效期 一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 至一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器,具有探测灵敏度高,响应速度快,室温工作,结构紧凑可大规模集成的优点,可以对太赫兹信号进行实时探测成像。该探测器基于窄禁带半导体的热载流子吸收效应,选用适当组成的碲镉汞材料,设计合理可行的天线耦合结构,进行光刻、腐蚀、溅射工艺制作,使用前置放大电路进行信号读出,从而实现对太赫兹信号的探测。本发明器件所用材料制备工艺成熟,可实现线列或阵列探测。

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