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一种SOINMOS总剂量辐照建模方法

  • 申请号:CN201010251985.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN102375896A
  • 公开(公开)日:2012.03.14
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种SOINMOS总剂量辐照建模方法
申请号 CN201010251985.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102375896A 公开(授权)日 2012.03.14
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 卜建辉;毕津顺;韩郑生
主分类号 G06F17/50(2006.01)I IPC主分类号 G06F17/50(2006.01)I
专利有效期 一种SOINMOS总剂量辐照建模方法 至一种SOINMOS总剂量辐照建模方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种SOI?NMOS总剂量辐照建模方法,属于提参建模技术领域。所述方法包括:获取SOI?NMOS辐照前模型参数,并在模型参数中加入与总剂量相关的参数,形成含有未知参数的SOI?NMOS总剂量辐照模型;获取SOINMOS总剂量辐照模型中未知参数的数值,形成最终的总剂量辐照模型。通过本发明的建模方法,使得总剂量辐照模型更加全面可靠;另外,本发明还实现了对新加模型参数提取的自动化,使得复杂的提参建模变得更加简单和高效。

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