专利详情

专利名称	一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗
申请号	CN201110024487.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102103968A	公开（授权）日	2011.06.22
申请（专利权）人	中国科学院近代物理研究所	发明（设计）人	蒙峻;张军辉;杨伟顺;罗成;万玉琴
主分类号	H01J37/301(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/301(2006.01)I
专利有效期	一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗至一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种设置于离子束流处理装置中束流的终端，能使束流处理装置的真空环境与大气环境相隔离，同时能使束流穿过的隔离窗。本发明的这种隔离窗是在粒子束的大气出口处用支承装置设置有真空隔离窗，其支承装置中固定设置有两个用高分子材料制成的薄膜，在两个薄膜间形成一个可抽真空的区域，在第一薄膜的内表面外和第二薄膜的外表面外还分别设置有用高分子材料制成的网状支承物，两个薄膜间的可抽真空区域与真空泵连接。