专利详情

专利名称	可自锁的基片挡板组件
申请号	CN201210590798.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103045994A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司	发明（设计）人	郭东民;刘丽华;冯彬;孙影;佟雷
主分类号	C23C14/00(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I
专利有效期	可自锁的基片挡板组件至可自锁的基片挡板组件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于镀膜技术领域，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。包括大基板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体内，所述主动轴与真空腔体下端的真空室大法兰转动连接，主动轴的另一端上套设有套筒，所述中间轴的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴另一端的斜面II相配合；所述主动轴通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴旋转，中间轴和主动轴通过摩擦角实现自锁。本发明把基片挡板组件的中间轴和下面主动轴通过摩擦传递转动，可实现有效自锁。