专利详情

专利名称	一种用于气体传感器的声表面波谐振器
申请号	CN201210563315.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103066943A	公开（授权）日	2013.04.24
申请（专利权）人	中国科学院声学研究所	发明（设计）人	王文;谢晓;何世堂
主分类号	H03H9/125(2006.01)I	IPC主分类号	H03H9/125(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I
专利有效期	一种用于气体传感器的声表面波谐振器至一种用于气体传感器的声表面波谐振器	法律状态	公开
说明书摘要	本发明涉及一种用于气体传感器的SAW谐振器，包括压电基片（32），置于压电基片（32）表面的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）、分别与第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）外侧相邻的第一短路栅反射器（33）和第二短路栅反射器（36）、以及两个叉指换能器之间设置的金属膜（37），所述的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）、第一短路栅反射器（33）、第二短路栅反射器（36）和金属膜（37）均采用厚铝薄金的双层电极结构，铝的厚度为1%～1.3%λ，金的厚度为0.15%～0.25%λ，λ为声波波长。由于采用铝/金双层电极模式，并调整了叉指换能器与反射器间距以及金属膜的宽度，使得这种SAW谐振器具有单一谐振模式，低损耗和高Q值的特点。