一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法
- 申请号:CN201310030430.3
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号:CN103105235A
- 公开(公开)日:2013.05.15
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法 | ||
申请号 | CN201310030430.3 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103105235A | 公开(授权)日 | 2013.05.15 |
申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 王帅;杨平;许冰;刘文劲;雷翔;晏虎;董理治;高源;程生毅 |
主分类号 | G01J9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/00(2006.01)I |
专利有效期 | 一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法 至一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法,用相位调制器分别对子孔径范围内的子光波进行第1阶、第2阶Walsh函数形式二元相位调制,每次调制后的子光波被微透镜聚焦进入对应的单模光纤选模滤波,单敏探测器在光纤另一端接收无调制、第1阶调制和第2阶调制三种状态最终出射的三个光强数据,根据光强数据求得子波前中第1阶和第2阶Walsh函数系数,利用该两阶Walsh函数与倾斜像差的对应比例关系,得到子孔径内子波前中对应的两个方向倾斜像差系数;本发明充分减少每个子孔径对应的探测单元数,大大减小探测信息量,实现在单个子孔径中,用单敏光电探测器代替光电探测器阵列,提高探测速度,降低了器件成本,同时波前探测的精度不受探测单元数减少的影响。 |
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