专利详情

专利名称	一种罗茨真空泵
申请号	CN201110357833.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103104489A	公开（授权）日	2013.05.15
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	雷震霖;王光玉;刘在行
主分类号	F04C18/14(2006.01)I	IPC主分类号	F04C18/14(2006.01)I;F04C27/00(2006.01)I;F04C29/00(2006.01)I
专利有效期	一种罗茨真空泵至一种罗茨真空泵	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体，其中前后轴承腔体位于罗茨腔体的两侧，所述齿轮腔体与后轴承腔体连接；所述罗茨腔体上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴和从动转子轴，该主动转子轴和从动转子轴上分别设有相对应的罗茨主动转子和罗茨从动转子；主动转子轴一端与电机连接，另一端设有主动齿轮，从动转子一端设有从动齿轮与主动齿轮传动连接，并置于齿轮箱内；所述前轴承腔体及后轴承腔体内，均设有套固在主动转子轴和从动转子轴两端的轴承及轴承支撑环。本发明具有体积小，抽速大，节约能源和空间，适用于IC装备。