专利详情

专利名称	一种EUV光源污染物收集装置
申请号	CN201210479101.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103108480A	公开（授权）日	2013.05.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	宗明成;孙裕文;李世光;黄有为
主分类号	H05G2/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05G2/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种EUV光源污染物收集装置至一种EUV光源污染物收集装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种EUV光源污染物收集装置，应用于X射线或者EUV发光装置，其中，所述EUV发光装置包括：一激光源，一真空腔，一集光镜，一喷嘴，其中，EUV光源污染物收集装置包括：一收集罩，收集罩位于真空腔内，用于在激光束打击靶材后收集靶材碎片，减少对EUV光源及其相连光刻机的污染；一储存装置，储存装置位于真空腔的下方，储存装置用于收集靶材和/或污染物。本发明的EUV光源污染物收集装置能够减少靶材碎片等污染物对EUV光源及其相连光刻机的污染，提高其使用寿命，同时降低污染物对EUV光的吸收，大幅度提高EUV光源的效率。本发明能够回收并循环利用靶材，因此能够大幅度提高靶材的利用效率。