专利详情

专利名称	一种集光系统防污染保护装置
申请号	CN201210505346.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103108481A	公开（授权）日	2013.05.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	宗明成;魏志国;徐天伟;孙裕文;黄有为
主分类号	H05G2/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05G2/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种集光系统防污染保护装置至一种集光系统防污染保护装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种集光系统防污染保护装置，用于一种集光系统中，所述集光系统包括：一激光源，一真空腔，一集光镜，所述集光系统防污染保护装置包括：一供气管路，用于传输压力气体；至少一通气孔，位于所述供气管路上，用于喷射所述压力气体；至少一气源，与所述供气管路连接，用于给所述供气管路提供压力气体；其中，所述通气孔与所述通过气路连通，实现通过所述压力气体将所述真空腔中的污染物吹离所述集光镜。本发明能够在激光源和集光镜之间通入背离集光镜内表面的气流，进而实现通过气流将光源中的污染物吹离集光镜，从而防止集光镜被污染物污染，达到延长集光镜使用寿命的目的。