专利详情

专利名称	MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法
申请号	CN201110335464.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103086316A	公开（授权）日	2013.05.08
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李四华;吴亚明;徐静
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法至MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法，包括：提供具有双层硅器件层的SOI硅结构；在第一衬底层的表面制作第一划片图形；去除第二衬底层；在第二埋层氧化层上制作双层掩膜；利用双层掩膜，制作出高梳齿结构、低梳齿结构以及微镜面结构；将双抛硅片与SOI硅结构进行硅硅键合；在双抛硅片的表面制作第二划片图形；去除第一衬底层并显露出第一埋层氧化层；以第一埋层氧化层作为掩膜，刻蚀第一硅器件层，释放可动梳齿结构、可动微镜面结构和固定梳齿结构；去除第一埋层氧化层；在微镜面区域和引线区域形成薄膜金属层。相较于现有技术，本发明技术方案能制作出具有自对准高低梳齿结构的垂直梳齿微镜面驱动器，具有制作简单和成品率高的优点。