一种半导体结构
- 申请号:CN201090000830.X
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN202917448U
- 公开(公开)日:2013.05.01
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 一种半导体结构 | ||
申请号 | CN201090000830.X | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN202917448U | 公开(授权)日 | 2013.05.01 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 尹海洲;朱慧珑;骆志炯 |
主分类号 | H01L21/20(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
专利有效期 | 一种半导体结构 至一种半导体结构 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 提供了一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括:硅衬底(201);形成于所述硅衬底(201)上的宽带隙半导体层(202);以及形成于所述宽带隙半导体层(202)上的硅层(203)。短沟道效应能够得到抑制。 |
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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