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一种半导体结构

  • 申请号:CN201090000830.X
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN202917448U
  • 公开(公开)日:2013.05.01
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 一种半导体结构
申请号 CN201090000830.X 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN202917448U 公开(授权)日 2013.05.01
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 尹海洲;朱慧珑;骆志炯
主分类号 H01L21/20(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/20(2006.01)I
专利有效期 一种半导体结构 至一种半导体结构 法律状态
说明书摘要 提供了一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括:硅衬底(201);形成于所述硅衬底(201)上的宽带隙半导体层(202);以及形成于所述宽带隙半导体层(202)上的硅层(203)。短沟道效应能够得到抑制。

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