专利详情

专利名称	一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置
申请号	CN201210562890.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103033138A	公开（授权）日	2013.04.10
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	刘华;卢振武;熊峥;孙强
主分类号	G01B11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置至一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置属于工业加工领域，目的在于解决了传统曝光装置无法制造具有周期、非周期双码道的绝对式光栅尺的缺陷，提高了位移测量精度，实现超长计量钢带尺的制造。本发明还包括投影曝光头、CCD探测器和激光打标装置；所述两个投影曝光头分别对钢带宽度的一半进行曝光，所述激光打标装置位于所述钢带的曝光区间始端的下方，所述CCD探测器位于所述钢带的曝光区间终端的下方，所述CCD探测器及所述激光打标装置的控制输出端与计算机连接。利用两个投影曝光头分别产生绝对式光栅尺所需的周期性、非周期性的码道条纹图案，实现具有双码道的绝对式光栅尺的制造；利用激光干涉仪控制微小位移变化，提高精度。