半导体微台面列阵的测量装置和方法
- 申请号：CN201210525706.0
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号：CN103033131A
- 公开(公开)日：2013.04.10
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 半导体微台面列阵的测量装置和方法 | ||
| 申请号 | CN201210525706.0 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103033131A | 公开（授权）日 | 2013.04.10 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 熊敏;赵迎春;董旭;时文华;张宝顺 |
| 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;G01B11/22(2006.01)I;G01B11/14(2006.01)I |
| 专利有效期 | 半导体微台面列阵的测量装置和方法 至半导体微台面列阵的测量装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深度等几何信息，满足微台面列阵的测量要求。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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平台保障
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