专利详情

专利名称	一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法
申请号	CN201210562736.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103047928A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	马冬梅;邵晶;金春水;张海涛;于杰
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法至一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域，该方法包括如下步骤：测试过程中引入一定的倾斜量，多次测量结果的平均值作为参考值，取其中一次测试结果减去参考值，获得其中一次测试结果的随机测试误差，根据不同误差源的特性，对其进行分析，从而分析得到干涉测量过程中的主要误差源。本发明通过对随机误差的模态进行分析，通过比对各种误差源引起的随机误差模态之间的差异来快速获得移相干涉仪中随机误差源的种类，为干涉仪的维护和使用提供简便快捷的指导。