专利详情

专利名称	基于MEMS技术的电化学地震检波器
申请号	CN201110309982.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103048680A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	陈德勇;李光北;何文涛;王军波
主分类号	G01V1/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01V1/18(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I
专利有效期	基于MEMS技术的电化学地震检波器至基于MEMS技术的电化学地震检波器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，涉及地震检波技术，能够检测微弱地震波，是一个层状叠加结构的敏感单元密封在一个盛满电解质溶液的腔体里，敏感单元的每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极和背面的沟槽形绝缘流道。当地震检波器受到地震波的振动时，相当于受到一个加速度的作用，溶液内部将产生压力梯度，改变了溶液的离子浓度分布和速度场，影响电极处的电化学反应速率，从而使电极电流发生改变。通过测量电极电流的变化，就可以实现对地震波的检测。传感器采用层状和共面叉指电极的结构，提高了地震检波器的灵敏度，电极一致性好，便于调节电极宽度和间距。