专利详情

专利名称	极紫外（EUV）光刻胶超高真空热处理检测装置与方法
申请号	CN201110315017.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103048377A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院化学研究所	发明（设计）人	杨国强;田凯军;陈力;王双青;李沙瑜
主分类号	G01N27/62(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/62(2006.01)I
专利有效期	极紫外（EUV）光刻胶超高真空热处理检测装置与方法至极紫外（EUV）光刻胶超高真空热处理检测装置与方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种极紫外光刻胶超高真空加热处理的检测装置与方法，该装置操作简便，可以在实验室用于极紫外光刻胶配方工艺筛选，提供所考察的极紫外光刻胶的真空加热产气情况。利用本发明装置和检测方法，可以同时得到真空加热情况下产生气体的速率和总的产气量以及每种气体的分压。通过这些数据，可以确定在真空加热情况下极紫外光刻胶所产生的气体的种类和数量，为极紫外光刻胶的材料和配方筛选提供重要的实验数据。