专利详情

专利名称	一种激光加工纳米粉送粉管
申请号	CN201210593032.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103014700A	公开（授权）日	2013.04.03
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽
主分类号	C23C24/10(2006.01)I	IPC主分类号	C23C24/10(2006.01)I;B23K26/34(2006.01)I
专利有效期	一种激光加工纳米粉送粉管至一种激光加工纳米粉送粉管	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种激光加工纳米粉送粉管，在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构，所述激光加工送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的结构，在所述半圆形结构的外壁上开设有三个圆形凹槽，在所述圆形凹槽中设置纽扣型的微型振动器，所述微振动器的底部和四周同所述圆形凹槽胶接；所述凹槽结构的底部具有开口，所述开口的距离小于其内部空间的宽度，所述凹槽结构用来容置观察板，所述观察板能从所述凹槽结构中被推入或者被推出；所述凹槽结构的顶部设置有弹簧，所述弹簧一端固定在凹槽结构的顶部，另一端连接一表面光滑的薄板；所述薄板的下方与所述观察板在弹簧的作用力下挤压接触，从而能随时固定所述观察板的位置。