专利详情

专利名称	对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器
申请号	CN201010583972.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102128953A	公开（授权）日	2011.07.20
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	车录锋;李伟;林友玲;王跃林
主分类号	G01P15/125(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/125(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I
专利有效期	对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器至对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器。所述的加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称倾斜折叠梁结构以及上、下盖板组成。对称的中心质量块由顶端质量块和底端质量块键合组成，每根倾斜折叠梁的内脚连接在中心质量块侧面的顶端或底端，外脚连接在外部支撑框架内侧面，整个结构上下对称。本加速度传感器的特点是弹性梁采用对称倾斜折叠梁结构，同时具有一定的对称性，有效的抑制了传感器的交叉轴灵敏度。微加速度传感器采用微电子机械系统技术制作，使器件能够形成更大尺寸的敏感质量块，使器件具有高的分辨率和灵敏度。