专利详情

专利名称	超快电子器件测试系统及方法
申请号	CN201110269306.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102426306A	公开（授权）日	2012.04.25
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	楼柿涛
主分类号	G01R31/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01)I
专利有效期	超快电子器件测试系统及方法至超快电子器件测试系统及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种超快电子器件响应测试系统及方法。该系统包括飞秒脉冲激光器、飞秒脉冲延时系统、电脉冲产生模块、电脉冲探测模块及数据采集校正系统；该方法为：利用光学延时系统将光束分成有一定延时的两束飞秒脉冲光。其中一束激光聚集在高速光电二极管，光电二极管的光电效应产生的短电脉冲对高速电子器件进行电流或电场的输入，将另一束飞秒脉冲光聚焦到连接在超快电子器件的输出电路上的微小电光晶体上，利用光电探测器对从微小电光晶体中反射或透射的脉冲光强进行测试。通过改变两束光的延时对超快电子器件进行时序测量。本发明可有效解决超快电子器件的时序响应的测试问题。