专利详情

专利名称	一种干燥微电子器件的方法及其装置
申请号	CN201010209841.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102299051A	公开（授权）日	2011.12.28
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王磊;景玉鹏
主分类号	H01L21/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;F26B11/18(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I
专利有效期	一种干燥微电子器件的方法及其装置至一种干燥微电子器件的方法及其装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种干燥微电子器件的方法包括：去离子水浸没待清洗的微电子器件；用液态CO2和表面活性剂的混合溶液置换所述微电子器件中的去离子水；及通入液态CO2冲洗所述微电子器件，去除残留在所述微电子器件上的表面活性剂，并将液态CO2加热至超临界态，对所述微电子器件进行干燥。还公开一种干燥微电子器件的装置包括表面活性剂储罐、CO2储气罐、用于混合表面活性剂和CO2的混合罐、用于干燥微电子器件的反应腔室；所述表面活性剂储罐与CO2储气罐的出口与所述混合罐一端连接，所述混合罐另一端与所述反应腔室入口相连。通过本发明能够有效的解决干燥过程中结构塌陷的问题，避免了有机溶液和CO2的大量使用，缩短了清洗时间，提高了效率。