专利详情

专利名称	一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法
申请号	CN201110329856.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102501154A	公开（授权）日	2012.06.20
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	施春燕;钟显云;万勇建;范斌;伍凡;张亮
主分类号	B24B13/005(2006.01)I	IPC主分类号	B24B13/005(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I
专利有效期	一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法至一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是离子束抛光过程中工件装卡装置和方法，所述工件装卡装置包括四槽旋转台固定在装卡主平台上，四个沟槽正交对称分布在四槽旋转台上；四个滑动固定柱分别装在四槽旋转台的四个槽上，拧动滑动固定柱上的固定螺栓使滑动固定柱固定或松动；陶瓷帽片固定在滑动固定柱的上面；在滑动固定柱侧面有一个挂钩，在挂钩的下侧有一装卡在滑动固定柱上的升降支架结构。本发明亦具有工件装卡方法在装卡主平台上安装一个四槽旋转台，通过可滑动固定柱把工件装卡在四槽旋转台结构上，通过采用千分表旋转四槽旋转台测量距可滑动固定柱的距离，不断移动可滑动固定柱的位置调节距离一致，确保工件的中心与装卡主平台的中心一致，从而实现工件位置的精确装卡。