专利详情

专利名称	一种可控还原气氛泡生炉
申请号	CN201110449563.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102560637A	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	邹宇琦;徐军;姜大鹏;李红军;苏良碧;郑丽和;唐慧丽;徐晓东;钱小波
主分类号	C30B27/02(2006.01)I	IPC主分类号	C30B27/02(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I
专利有效期	一种可控还原气氛泡生炉至一种可控还原气氛泡生炉	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可控还原气氛泡生炉，所述泡生炉包括软件控制系统、电控系统、提拉系统、压力平衡系统、断电保护系统、冷却系统、旋转称重系统、真空充气炉室和温场系统，其特征在于：还包括一套低真空压力平衡系统。本发明通过引入低真空压力平衡系统，对传统泡生法设备的真空系统、控制系统、温场系统和保护系统重新整合，可以实现晶体生长与退火一次完成，可有效解决热交换法和温梯法存在的碳元素和钼元素的污染问题，而且可避免在晶体生长过程中由外界带来的碳污染问题；利用本发明提供的可控还原气氛泡生炉，可生长大尺寸的光学级蓝宝石或钛宝石晶体，以满足国内外高功率激光器在军事及民用方面的需求。