专利详情

专利名称	子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法
申请号	CN201210101164.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102620683A	公开（授权）日	2012.08.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王孝坤
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法至子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法涉及光学检测领域，该方法包括如下步骤：设定干涉仪，使其参考球波前的曲率半径与待测非球面中心区域的最接近球面半径吻合；调整干涉仪与待测非球面的相对位置关系，使干涉仪标准球面波前对准非球面待测区域；通过模式搜索误差补偿方法，消除标准球面检测偏离量较大的待测非球面时产生的调整误差；通过子孔径拼接检测技术，实现全口径拼接检测，得到精确的面型结果。本发明利用模式搜索误差补偿方法可以很好的将由于拼接测量位置没有对准带来的调整误差从测量的子孔径相位数据中消除，从而很好地实现多个子孔径的拼接，精确的完成非球面全口径面形拼接检测。