专利详情

专利名称	一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法
申请号	CN201210080275.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102607461A	公开（授权）日	2012.07.25
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	马冬梅;邵晶
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法至一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功能，既能够对光学元件的面形误差进行测试，又能对测试装置进行高精度校准。本发明具有低成本、高精度的特点，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。