专利详情

专利名称	高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统
申请号	CN201210103480.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102790348A	公开（授权）日	2012.11.21
申请（专利权）人	中国科学院安徽光学精密机械研究所	发明（设计）人	王效顺;方晓东;梁勖;游利兵;尹洪虎;刘毅;王庆胜;赵家敏
主分类号	H01S3/10(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/10(2006.01)I;G05B19/4063(2006.01)I
专利有效期	高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统至高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统，包括有热释电探测器、运算放大电路、峰值保持电路、主控电路、PI控制算法，主控电路的主控制器为单片机，热释电探测器将光信号转化为电脉冲信号后经运算放大电路进行放大，再经峰值保持电路进行峰值保持跟踪后通过A/D转换模块转化为数字信号后输入单片机，单片机利用PI算法计算出下次脉冲放电所需要的参考电压数字信号后经DA模块转化为模拟量后作用于高重频ArF准分子激光器使用的全固态脉冲电源中的高压直流电源或可控谐振充电模块。本发明提出的PI电压调节算法能够提高控制的精度，降低高重频ArF准分子激光器的运行成本。