专利详情

专利名称	平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法
申请号	CN201210442452.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102910668A	公开（授权）日	2013.02.06
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	董红星;柳洋;张龙;詹劲馨
主分类号	C01G9/03(2006.01)I	IPC主分类号	C01G9/03(2006.01)I
专利有效期	平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法至平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法，以表面覆有10nm厚Au膜的单晶硅片作为样品沉积基片，将一定量的Zn粉或ZnO粉、Sb2O3粉和碳粉按照一定摩尔比例混合均匀作为反应源，放入石英舟，并将沉积有Au膜的基片倒扣在原料上方，然后将石英舟放入管式炉的石英管中心靠近热电偶的位置，反应前，经高纯氮气排除石英管内空气，并在氮气的保护下将炉温升至950~1100℃，反应20~60min，反应时气体流量为氮气3~5L/h，氧气0.1~0.5L/h至反应结束，待炉温自然冷却到室温，可得平行四边形截面的氧化锌纳米微米棒。本发明具有工艺简单，产物重复性好、晶体质量高、形貌尺寸可控的特点。该ZnO纳米/微米棒呈现出对光场优异的调控性能，可用于类波导Fabry-Pérot光学微腔。