专利详情

专利名称	一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法
申请号	CN201210483461.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103000698A	公开（授权）日	2013.03.27
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;株洲南车时代电气股份有限公司	发明（设计）人	白云;刘可安;申华军;汤益丹;王弋宇;韩林超;刘新宇;李诚瞻;史晶晶
主分类号	H01L29/872(2006.01)I	IPC主分类号	H01L29/872(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/04(2006.01)I
专利有效期	一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法至一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法，该SiC结势垒肖特基二极管包括：N+-SiC衬底；形成于该N+-SiC衬底之上的同型N--SiC外延层；形成于该N--SiC外延层上的肖特基金属接触；形成于该肖特基金属接触之下N-区域中的P型区；形成于该肖特基金属接触边缘处的一个P-型环，该P-型环作为结终端延伸区域；形成于该P-型环上的n个P+型环，n≥2；形成于该n个P+型环间的SiO2钝化层；以及形成于该N+-SiC衬底背面的N型欧姆接触。本发明提出的SiC结势垒肖特基二极管，能够降低器件表面的峰值电场，有利于提高器件的击穿电压，且通过一次Al离子注入结合刻蚀的方法，避免了多次Al离子注入，器件制备工艺相对简单。