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基于超声定位的激光加工装置及加工方法

  • 申请号:CN201210450849.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN102974937A
  • 公开(公开)日:2013.03.20
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 基于超声定位的激光加工装置及加工方法
申请号 CN201210450849.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102974937A 公开(授权)日 2013.03.20
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 赵伟芳;林学春;于海娟;李晋闽
主分类号 B23K26/04(2006.01)I IPC主分类号 B23K26/04(2006.01)I;B23K26/20(2006.01)I
专利有效期 基于超声定位的激光加工装置及加工方法 至基于超声定位的激光加工装置及加工方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种基于超声定位的激光加工装置及加工方法,该基于超声定位的激光加工装置,包括:一加工平台;一夹持装置,其位于加工平台的上方,该夹持装置包括横向夹持连接部和纵向夹持连接部,该横向夹持连接部和纵向夹持连接部相互枢接;一激光头,其枢接在夹持装置的横向夹持连接部上,并位于加工平台的上方;一超声测距装置,其枢接在夹持装置的纵向夹持连接部上。本发明可保证激光加工质量,提高加工精度,并且能够快速方便的确定加工时离焦量的变化情况。

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