基于超声定位的激光加工装置及加工方法
- 申请号:CN201210450849.X
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号:CN102974937A
- 公开(公开)日:2013.03.20
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 基于超声定位的激光加工装置及加工方法 | ||
申请号 | CN201210450849.X | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN102974937A | 公开(授权)日 | 2013.03.20 |
申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 赵伟芳;林学春;于海娟;李晋闽 |
主分类号 | B23K26/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B23K26/04(2006.01)I;B23K26/20(2006.01)I |
专利有效期 | 基于超声定位的激光加工装置及加工方法 至基于超声定位的激光加工装置及加工方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 一种基于超声定位的激光加工装置及加工方法,该基于超声定位的激光加工装置,包括:一加工平台;一夹持装置,其位于加工平台的上方,该夹持装置包括横向夹持连接部和纵向夹持连接部,该横向夹持连接部和纵向夹持连接部相互枢接;一激光头,其枢接在夹持装置的横向夹持连接部上,并位于加工平台的上方;一超声测距装置,其枢接在夹持装置的纵向夹持连接部上。本发明可保证激光加工质量,提高加工精度,并且能够快速方便的确定加工时离焦量的变化情况。 |
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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过户资料
平台保障
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