技术转移
(1)应用研究:面向企业生产需求,与企业开展产学研合作,运用先进的机电液一体化技术、测试技术、检测技术,结合当今主流的PLC(可编程控制器)、PAC(可编程自动化控制器)、运动控制器、数据采集系统、视觉检测系统、生产管理系统、生产线监测系统、控制平台和数控系统设计等,同企业一起攻关科技难题,联合申请各类科研项目,研发、设计各类自动化生产加工、测控设备,并提供相关技术咨询与服务。 (2)基础研究部分:微纳机电系统及其集成,硅基集成传感器件及其系统,硅基体/表面微机械加工工艺开发及其与CMOS 兼容性制造工艺,MEMS/NEMS 材料力学行为;新型二维材料微纳电子器件(晶体管、谐振器和传感器等)其与CMOS 兼容性制造工艺。